真空干燥實驗在十幾世紀就已經開始了，到二十世紀初真空技術已在石化領域廣為應用。后來隨著真空技術及干燥技術的發展，在真空干燥領域中的技術的應用越來越廣泛。 

     所謂真空，并不是*沒有氧氣，而是指系統的氧分子數量較少。真空干燥箱是在先抽真空后加熱物料，使其水分內部擴散，內部蒸發，表面蒸發，從而進行低溫低壓干燥的工藝。 

    真空干燥箱一般體積較小，因為在真空狀態下，外壓急劇減小，溶劑的沸點大大降低，蒸發速度明顯提高，蒸發面積可縮小，整個裝置緊湊。真空干燥溫度低，可干燥熱敏性物料。 而且在真空狀態下，可以滅菌。 

      真空干燥箱一般耗能高，水汽化所需的熱量是隨汽化溫度的降低而增加。因此在真空蒸發中，蒸發相同重量的水分所消耗的熱量要比常壓下消耗的多。系統真空度越高，熱傳導系數低，因此在真空干燥過程中能耗也顯著增加。真空干燥裝置成本較高，一般系統的真空度越高，對系統的密封要求越高，真空設備的投資越大。